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工艺冷却水系统原理

发布时间:

2021/09/15 00:00

工艺冷却水系统主要是用于半导体材料、微电子技术等行业中主要设备的间接冷却设备,分成开启式系统和闭试系统。下面就来工艺冷却水系统构成、原理内容进行详解。

工艺冷却水的应用领域十分广泛,牵涉到工业化生产里的各个方面,包含半导体材料、大型中央空调、能源化工、石化厂、微电子技术、工业制冷机、热电厂中汽轮发电机排气管冷疑、天燃气管道减温等场所均有大量的工艺冷却水应用,在许多产品或工艺环境都要求配置净化车间,生产车间全年度规定温度和空气湿度维持在一定范畴,其中一些加工过程热值大,工艺机器设备必须超低温冷却水减温,而且在冬天仍然需要中央空调制冷,为了实现这些要求,务必修建工艺冷却水系统,工艺冷却水系统分成开启式系统和闭试系统两大类。

工艺冷却水系统构成及原理

工艺冷却水系统由下列几部分组成:制冷机组、泵、换热器、储水箱、过滤装置、工艺机器设备。

制冷机组:给冷却水系统给予蓄冷。

水泵:对水充压,保证其在制冷系统中循坏流动性。

换热器:运用此设备使冷冻水系统与冷却水系统造成热交换器,以将此系统负载端造成热量传输给冷冻水系统,换热器品种繁多,按其方式可主抓壳式、平板式、管翅式、热列管式等。相比较而言,板式热交换器具备占地总面积小,热传导面积大的优势。充分考虑半导体材料工业厂房室内空间总面积工程造价特性,甄选占地总面积小的机器,节约用地总面积,节约了工程预算。

储水箱:开启式系统中水箱关键具有填补水资源功效,闭试系统中水箱应该选择水箱,水箱有三个作用,一是救助和赔偿系统原水的胀缩量下跌。二是向封闭式冷却循环水系统给予平稳的压力,具有系统稳压管的功效。三是做为系统补水泵的指示,通常由水箱发信号运行或关掉系统补水泵。

过滤装置:过滤掉水里的固态颗粒物残渣,净化处理水资源。

工艺冷却水系统含有冷冻水和冷却水这俩相对独立性的系统,冷冻水由制冷机组给予,冷冻水与冷却水开展热交换器,使冷却水减温从而减少机器设备温度,从生产线设备打水经水泵至换热器根据操纵冷冻水的量来确保工艺冷却水的水的温度,根据过滤装置后送至生产设备,再回到水泵,组成工艺冷却水反复循环,冷冻水则立即回制冷机组。

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